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在离子注入器中，沿离子束的分子平均数密度用作评估设计的品质参数。它必须通过硅片绕轴旋转角度的函数的形式计算。研究真空系统的工程师和科学家们不仅使用“分子流模块”来设计真空系统，还通过它来了解并预测低压气体的流动。由于仿真分析可以加强人们对物理现象的理解，降低原型设计成本并加快开发速度…
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