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分析微机电系统微机电系统（MEMS）器件通常利用电磁-结构、压电、热-结构等多物理场相互作用的原理来工作，了解各种物理场之间的相互作用对于设计和优化 MEMS 器件至关重要。COMSOL Multiphysics® 软件的“MEMS 模块”是一款专用于分析 MEMS 器件的理想工具。随着器件尺寸的减小，由热、电和压电等效应引起…
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